[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-1] [第44回優秀論文賞受賞記念講演] 大気圧非平衡プラズマの連続スペクトル発光分光計測のその後の展開--電子エネルギー分布関数の測定

大西 広¹、山崎 文徳¹、箱崎 喜郎¹、竹村 将沙樹¹、根津 篤¹、〇赤塚 洋¹ (1.東工大)

キーワード：大気圧非平衡プラズマ、連続スペクトル、電子エネルギー分布関数

大気圧非平衡プラズマの放つ連続スペクトルの分光計測により、電子エネルギー分布関数(EEDF)を求める。Fitnessパラメータを目的関数として最小化する様に、電子エネルギー確率関数EEPF=EEDF/√Eを求めたところ、2.8 eV付近に折れ曲がりを持つ2温度Maxwell分布に近い形が得られた。バルク成分は0.26-0.29 eV 程度、テール成分は2.2-3.0 eV 程度であった。