[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-15] 裏面照射フォトカソードを用いた大気圧放電の電圧電流特性

〇八田 章光¹、スクマ ワイユフィットリアーニ¹、矢島 英樹² (1.高知工科大、2.オーク製作所)

キーワード：大気圧放電、光電陰極、ナノ膜厚

ナノ膜厚の金薄膜にエキシマランプの高強度UVを裏面照射するフォトカソードを用いて、大気圧で安定な直流放電を行った。ガス種、ガス流速、励起波長、金の膜厚などの条件を制御し、電圧電流特性を測定して解析する。