[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-18] ホウ素ドープダイヤモンドホローカソードを用いた直流プラズマ源による大電流・低電圧放電

〇宮崎 久生¹、吉田 学史¹、木村 重哉¹ (1.東芝RDC)

キーワード：プラズマ源、電子源、ダイヤモンド

負の電子親和力による高い電子放出効率、イオン衝突耐性、高融点、高熱拡散性といったダイヤモンドの特性を生かしたプラズマ源の開発を行っている。Mo円筒内面にホウ素ドープダイヤモンドを成膜してホローカソードとし、軸方向磁場を印加することで、二次電子放出や電離の効率の高い直流放電源を試作した。結果、30 Paの水素雰囲気中でピーク電流100 A、陽極-陰極間電圧90 Vの直流放電状態を観測した。