[15p-B309-1~19] 8.1 Plasma production and diagnostics

[15p-B309-19] Control of the Shape of Photoemission-assisted Plasma by Pressure

〇Susumu Takabayashi¹, Ryuta Tsukazaki¹, Hisashi Koga¹ (1.National Institute of Technology, Ariake College)

Keywords:Photoemission-assisted Plasma

光電子制御プラズマはDCプラズマの一種であるが、放電開始トリガーの初期電子に光電子を用いていることが特徴である。光電子は基板に深紫外光(172 nm = 7.2 eV)を照射することにより発生させている。この放電は紫外光照射部位に限定されて発生するため、放電電圧と電流密度を精密に評価できる。本発表では、その圧力依存性について報告する。