The 70th JSAP Spring Meeting 2023

Presentation information

Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.1 Plasma production and diagnostics

[15p-B309-1~19] 8.1 Plasma production and diagnostics

Wed. Mar 15, 2023 1:00 PM - 6:45 PM B309 (Building No. 2)

Tsuyohito Ito(Univ. of Tokyo), Manabu Tanaka(Kyushu Univ.)

6:30 PM - 6:45 PM

[15p-B309-19] Control of the Shape of Photoemission-assisted Plasma by Pressure

Susumu Takabayashi1, Ryuta Tsukazaki1, Hisashi Koga1 (1.National Institute of Technology, Ariake College)

Keywords:Photoemission-assisted Plasma

光電子制御プラズマはDCプラズマの一種であるが、放電開始トリガーの初期電子に光電子を用いていることが特徴である。光電子は基板に深紫外光(172 nm = 7.2 eV)を照射することにより発生させている。この放電は紫外光照射部位に限定されて発生するため、放電電圧と電流密度を精密に評価できる。本発表では、その圧力依存性について報告する。

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