[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-7] トモグラフィック発光分光計測による窒素誘導結合プラズマの振動温度・回転温度の空間分布診断

〇米田 和真¹、山下 雄也¹、土居 謙太²、清田 哲司²、浅川 慶一郎²、石 健太¹、根津 篤¹、赤塚 洋¹ (1.東工大、2.アルバック)

キーワード：発光分光計測、トモグラフィ、窒素誘導結合プラズマ

分子性ガス特有の放電について理解を深めるために、その代表例である窒素プラズマの特性を調べることは重要である。半導体エッチングなどのプラズマプロセスに応用される誘導結合プラズマにおいては、ガス温度に近似される回転温度の空間分布を把握する必要がある。本研究では、窒素誘導結合プラズマを対象にトモグラフィック発光分光計測を実施した。スペクトルフィッティングによりN₂・N₂⁺の振動・回転温度の空間分布を診断した。