2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[15p-B401-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

2023年3月15日(水) 13:00 〜 18:00 B401 (2号館)

船戸 充(京大)、関口 寛人(豊橋技科大)、飯田 大輔(KAUST)

13:00 〜 13:15

[15p-B401-1] スパッタ法による格子緩和InGaN層上赤色発光InGaN/AlGaN/GaN量子井戸LEDの作製

〇高山 明都1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)

キーワード：発光素子、窒化インジウムガリウム、スパッタリング