[15p-B401-1~18] 15.4 III-V-group nitride crystals

△ [15p-B401-13] Development of MicroLED neural probe integrated with microfluidic channel

〇(D)Kakeru Oya¹, Gota Shinohara¹, Atsushi Nishikawa², Alexander Loesing², Sekiguchi Hiroto¹ (1.Toyohashi Tech., 2.ALLOS)

Keywords:microLED, microchannel, neural probe

脳機能解明のためのツールとしてマイクロLEDと流路を一体集積したプローブの開発を進めてきた．しかし，流路に流す薬液とLED駆動が相互に影響を及ぼさないよう，流路内部への保護層形成する必要がある．本研究では，熱酸化プロセス法を適用することにより流路側壁をSiO₂薄膜で保護したマイクロLED/流路プローブの開発を行った．