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△ [15p-B401-3] 成長温度を変化させたGaInN/GaN超格子(SL)を用いた多重量子殻LEDの発光特性
キーワード:半導体、窒化物、ナノワイヤ
ナノワイヤ及び多重量子殻活性層(MQS)を用いたLEDの研究を行っている。量子殻LEDは非極性面及び半極性面の活性層を用いることでピエゾ電界を0または極性面の1/3以下に低減することができるため、発光効率向上が期待されている。本研究では超格子(SL)の成長中の成長温度を変更させ、n-GaNからMQSへの点欠陥の伝搬抑制によるMQSの高品質化及びそれに伴うデバイス性能の影響を調査した。