[15p-D511-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-D511-10] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(22) 窒素複合体の濃度測定標準手続き

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪府大 放射線研究センター)

キーワード：シリコン結晶、窒素、赤外吸収

窒素は測定法の標準化されたNNの他に色々な複合体を作り熱処理挙動やgrown-in欠陥形成の役割は異なる。そこで個別と全体の濃度を測定する必要がある。NO系はドナー濃度や電子遷移準位濃度測定が提案されたが、LVM赤外吸収の発見と同定(NO)O_0-2, (ONO)O_0-2が進んだ。また最近as-grownで大量のNi, 551 cm^-1とVVNN,688 cm^-1が見つかった。これらの測定を提案する。