2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[15p-D511-1~11] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2023年3月15日(水) 13:30 〜 16:45 D511 (11号館)

鈴木 秀俊(宮崎大)、神山 栄治(GWJ)

16:30 〜 16:45

[15p-D511-11] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(26)単結晶多結晶の赤外吸収標準測定法とSIMSの較正

井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)

キーワード:シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収

我々はこれまでに1013-14/㎝3までの炭素濃度の赤外測定法を単結晶、多結晶、室温、低温について確立し、関係者に技術移転や開示してきた。またIDL8x1013/㎝3、spectral detection limitを得た。近年炭素濃度は国際単位系に関係してきた。産業ばかりでなく科学に必要な標準測定法を提案する。SIMS測定の感度と精度を赤外吸収により較正した。