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[15p-D511-11] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(26)単結晶多結晶の赤外吸収標準測定法とSIMSの較正
キーワード:シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収
我々はこれまでに1013-14/㎝3までの炭素濃度の赤外測定法を単結晶、多結晶、室温、低温について確立し、関係者に技術移転や開示してきた。またIDL8x1013/㎝3、spectral detection limitを得た。近年炭素濃度は国際単位系に関係してきた。産業ばかりでなく科学に必要な標準測定法を提案する。SIMS測定の感度と精度を赤外吸収により較正した。