[15p-E102-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15p-E102-1] [第53回講演奨励賞受賞記念講演] 三次元集積型強誘電体デバイスへ向けた三元系非晶質酸化物半導体材料

〇髙橋 崇典¹、上沼 睦典¹、小林 正治²、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大、2.東京大学)

キーワード：酸化物半導体