The R[O<sub>2</sub>]% Ratio Effect on the Optical Properties of Ag<sub>x</sub>O Thin Films Grown by RFM-Sputtering

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2023年3月15日(水) 13:30 〜 18:15 E102 (12号館)

古田守(高知工科大)、井手啓介(東工大)、後藤健(農工大)

17:00 〜 17:15

〇(DC)Xiaojiao Liu¹、Tatsuya Yasuoka¹、Li Liu²、Toshiyuki Kawaharamura^1,2 (1.Kochi Univ. of Tech.、2.Res. Inst.)

キーワード：AgxO thin films, Sputtering, Band gap