[15p-PA02-1~12] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PA02-1] 高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化

〇小川 泰那¹、岩田 悠揮¹、鈴木 陽香^1,2、豊田 浩孝^1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

キーワード：大気圧プラズマ、マイクロ波放電、ガス温度

大気圧プラズマは多くの分野への展開が期待されているが、プラズマ生成において絶縁破壊電界が高いという課題がある。その課題を克服するべく高速ガス流による減圧形成でマイクロ波放電の易化を試みた。また、放電時のガス温度を評価するためN₂発光スペクトルを用いたガスを温度計測を行った。