[15p-PA02-1~12] 8 Plasma Electronics (Poster)

[15p-PA02-6] Spectroscopic diagnostics of atmospheric pressure plasma jet with two types of discharge system

〇(M1)Akihiro Kajino¹, Keigo Takeda¹, Hiramatsu Mineo¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:Atmospheric pressure plasma, Emission spectroscopy

大気圧プラズマジェットにおいて重要な活性種の一つである酸素原子の効率的な生成のために、特性の異なる2種のプラズマ源を組み合わせたハイブリッド型大気圧プラズマジェットを構築した。
2種のプラズマ源間の距離を変化させたときの酸素原子844nmの発光スペクトル強度を計測した。
片方のプラズマで生成されたO₃がもう一方のプラズマ内に流入するタイミングの変化によって酸素原子の生成量への影響が確認された。