[15p-PA02-1~12] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PA02-8] 電極に埋設されたカーリングプローブによるプラズマ中の 電子密度計測のための基礎調査

〇(B)松原 正¹、中村 圭二¹、小川 大輔¹ (1.中部大学)

キーワード：カーリングプローブ、電子密度計測、電極埋設

プラズマ中の電子の数やそのエネルギーを知ることは、プラズマ中で起こっている反応を分析することになり、例えば発光では得られないような情報を得ることができる。カーリングプローブは、マイクロ波領域の周波 数を用いたプラズマ中の電子密度の電気的測定法の1つであり、その計測原理より、膜が堆積す るようなプラズマにおいても、その計測が可能である。その一方で、カーリングプローブは共振 部を持つため、そのプローブ先端は直径 10 mm 程度の円筒形状になっている。近年使われるよう な小さな電極間距離を持つ反応容器では、このような形状のプローブの使用は困難であるため、 昨今、我々はこのカーリングプローブを電極内に埋め込んだり、壁に埋めこんだりするための調査を進めている。本発表では、この調査における最新の研究成果について報告する。