[15p-PB03-1~15] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB03-6] ユニポーラダブルパルス印加大電力パルススパッタを用いたDLC成膜

〇太田 貴之¹、國枝 滉¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：スパッタリング、ダイヤモンドライクカーボン

ユニポーラダブルパルス（2 つの負のパルス高電圧を印加）をターゲットに印加する大電力パルススパッタリングによる DLC 成膜を行い、質量分析で計測した基板入射イオンの挙動と DLC 膜質の関係を明らかにする。