[15p-PB03-1~15] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB03-8] 液中プラズマによるダングリングボンド形成を通じた六方晶窒化ホウ素への官能基修飾

〇井上 健一^1,2、高木 直人¹、伊藤 剛仁¹、清水 禎樹²、石川 健治³、堀 勝³、寺嶋 和夫^1,2 (1.東大新領域、2.産総研、3.名大cLPS)

キーワード：液中プラズマ、六方晶窒化ホウ素、表面改質

液中プラズマは六方晶窒化ホウ素(h-BN)等にも効果的な表面改質プロセス反応場を提供し、その反応過程はプラズマによって形成したh-BN表面のダングリングボンドが酸化されることでヒドロキシ基等の官能基修飾がなされると推測されている。本研究では液中プラズマ処理h-BNに対し大気環境下での緩やかな酸化を行い、ダングリングボンド形成を通じたヒドロキシ基修飾を電子スピン共鳴やフーリエ変換赤外分光から分析した。