The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Poster presentation

3 Optics and Photonics » 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics (formerly 3.12)

[15p-PB06-1~23] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics (formerly 3.12)

Wed. Mar 15, 2023 4:00 PM - 6:00 PM PB06 (Poster)

4:00 PM - 6:00 PM

[15p-PB06-11] Infrared optical characteristics of seamless nanopatterns by stencil lithography

KENZO YAMAGUCHI1, Yuki Watanabe2, Toshihiro Okamoto1, Masanobu Haraguchi1 (1.Tokushima Univ.,pLED, 2.Tokushima Univ.)

Keywords:stencil lithography, seamless nanopatterns, Infrared light

本研究は、赤外光領域におけるシームレスナノパターンの光学評価を目的とする。シームレスナノパターンは、ステンシルリソグラフィー法を用い、これに回転と勾配を組み合わせることで、ディスクからリング、さらにホールまでのシームレスな連続的ナノパターンを作製した。また、近赤外光領域において、先の構造変化に伴う共鳴波長のシフトを観測した。