[15p-PB06-1~23] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics (formerly 3.12)

[15p-PB06-11] Infrared optical characteristics of seamless nanopatterns by stencil lithography

〇KENZO YAMAGUCHI¹, Yuki Watanabe², Toshihiro Okamoto¹, Masanobu Haraguchi¹ (1.Tokushima Univ.,pLED, 2.Tokushima Univ.)

Keywords:stencil lithography, seamless nanopatterns, Infrared light

本研究は、赤外光領域におけるシームレスナノパターンの光学評価を目的とする。シームレスナノパターンは、ステンシルリソグラフィー法を用い、これに回転と勾配を組み合わせることで、ディスクからリング、さらにホールまでのシームレスな連続的ナノパターンを作製した。また、近赤外光領域において、先の構造変化に伴う共鳴波長のシフトを観測した。