[16a-A202-1~4] 3.8 テラヘルツ全般（旧3.9）

[16a-A202-2] 導体損失を削減した空洞共振器型共鳴トンネルダイオード発振器からの高出力テラヘルツ放射

〇田中 大基¹、藤方 秀成¹、韓 非凡¹、石川 暁¹、鈴木 左文¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ(THz)、共鳴トンネルダイオード (RTD)

我々は空洞共振器と大面積共鳴トンネルダイオード（RTD）を用いた高出力テラヘルツ発振器を提案し、高熱伝導率n⁺-InP導電層の高放熱RTD構造を用いて0.53 THzで0.2 mWの出力を得た。しかし、n⁺-InPは導電率が低く、導体損失が増加し出力が低下していた。そこで、このn⁺-InP導電層の厚膜化と共に共振器電極構造を最適化し導体損失を削減し、0.61 THzで 0.86 mWの高出力発振を得た。