[16a-A307-1~11] CS.8 12.6 ナノバイオテクノロジー、12.7 医用工学・バイオチップのコードシェア

[16a-A307-4] レーザ分子線堆積法によるナノメータ平坦DNA固体薄膜の創製とメタノール検知センサへの応用

村田 朋大^1,2、南 皓輔²、山崎 智彦²、佐藤 知正³、鯉沼 秀臣⁴、有賀 克彦^2,1、〇松木 伸行³ (1.東大院新領域、2.物材機構、3.神奈川大、4.エスシーティー（株）)

キーワード：デオキシリボ核酸、レーザ堆積、センサ

DNAを電子デバイスへ応用する場合，異種膜積層やパターニング加工が可能であることが望ましく，そのためにはナノメータレベルで平坦な薄膜形成が必要となる．本研究においてレーザ分子線堆積法（LMBD法）を用いることにより平均最小二乗表面粗さ7.4 nmのDNA固体薄膜が得られた．また，同薄膜により作製した水晶振動子マイクロバランスセンサは優れたメタノール検知特性を有することがわかった．