2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

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[16a-A404-1~7] 誘電体研究における機械学習

2023年3月16日(木) 09:00 〜 12:30 A404 (6号館)

齋藤 真澄(キオクシア)、平永 良臣(東北大)

10:45 〜 11:00

[16a-A404-4] 局所C-Vマップの機械学習解析に基づくグレイン境界と強誘電ドメイン挙動の相関に関する統計的評価

平永 良臣1、野口 雄貴1、三村 和仙2、清水 荘雄2、舟窪 浩2、長 康雄1 (1.東北大、2.東工大)

キーワード:強誘電体、プローブ顕微鏡、機械学習

本講演では,局所C-Vマッピング法と呼ぶ走査型プローブ顕微鏡手法と機械学習を組み合わせた計測インフォマティクス的なアプローチによって,強誘電体薄膜における動的な分極反転挙動を微視的に解析する手法について議論する.