[16a-A409-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[16a-A409-3] 光回路の光路長揺らぎ抑制に向けたシリコン幅広曲線導波路の最適化

〇北 翔太^1,2、べディル ダニエル^1,2、新家 昭彦^1,2、納富 雅也^1,2 (1.NTTナノフォトニクスセンタ、2.NTT物性研)

キーワード：曲線導波路、作製誤差、Euler曲線

光アナログ演算器において高い演算精度を実現することはスケーリングにおいて重要な課題である．干渉計における光路長誤差を緩和するために，導波路の幅広化が有効であるが，モード変換による曲げ損失が新たな問題となる．これを抑制するため，本研究では多分割Euler曲線を新たに定義し，Nelder-Mead法により90°曲げ導波路を最適化したところ，半径7umにおける損失はわずか0.004 dBとなった．最適化した2x2 MMIカプラについても当日報告する．