2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス(旧3.15)

[16a-A409-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス(旧3.15)

2023年3月16日(木) 09:00 〜 11:45 A409 (6号館)

岡野 誠(産総研)、近藤 圭祐(宇都宮大)

11:00 〜 11:15

[16a-A409-8] ドーピング最適化によるInP-EOポリマーハイブリッド光変調器の高速化、低損失化の検証

作本 宙彌1、中山 武壽1、宮武 悠人1、トープラサートポン カシディット1、高木 信一1、竹中 充1 (1.東大工)

キーワード:フォトニクス、シリコンフォトニクス

我々は広帯域、低損失な光変調器としてInP-EOポリマーハイブリッド光変調器を提案、研究している。既存の研究ではプロセスの制約からドーピング濃度の最適化がなされていなかった。本研究では我々が作製しているドーピング可能なIII-V貼り合わせ基板上でのドーピング最適化による変調器の高速化と低損失化を検討し、400 GHzを超える低損失な変調器が実現可能であることがわかったので報告する。