[16a-B409-1~9] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [16a-B409-1] Smart Skin Displayの要素技術研究I Cuめっき直接接合を用いたマイクロLEDと3D-ICの常温積層

〇煤孫 祐樹¹、星 匡朗¹、劉 暢¹、申 家屹¹、篠田 敦志²、木野 久志³、田中 徹^1,3、福島 誉史^1,3 (1.東北大院工、2.東北大工、3.東北大院医工)

キーワード：フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス、マイクロLED