[16a-B409-1~9] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [16a-B409-3] Smart Skin Display の要素技術研究III:銅ピラーのアセンブリによるTXV 形成とフレキシブル配線の細線化

〇(B)篠田 敦志¹、煤孫 祐樹²、劉 暢²、星 匡朗²、申 家屹²、木野 久志³、田中 徹^2,3、福島 誉史^2,3 (1.東北大工、2.東北大院工、3.東北大院医工)

キーワード：フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス