[16a-B414-1~10] 17.3 Layered materials

△ [16a-B414-6] Effects of gas-phase reactive species on formation of Janus TMD revealed by in-situ
monitoring plasma atomic functionalization

〇Hiroshi Nakajo^1,2, Soma Aoki¹, Yuta Iwamoto¹, Toshiro Kaneko¹, Toshiaki Kato¹ (1.Tohoku Univ., 2.KOUSAI ELECTRIC Corp.)

Keywords:transition metal dichalcogenide, Janus TMD, in situ monitoring

マイルドプラズマ反応を活用した原子置換反応中の光学スペクトルを直接計測可能なその場観測ヤヌス化装置を開発した。さらに、同装置に四重極質量分析器(Q-mass)を組み込み、ヤヌス化反応中の気相内の活性種計測も同時に行える機構とした。本装置を用いて、ヤヌス化反応をラマン分光法と蛍光発光(PL)分光法によりリアルタイムで計測し、その際の気相活性種をQ-massで計測することで、TMDのヤヌス化反応における気相内活性種の効果を解明した。