[16a-B414-1~10] 17.3 層状物質

[16a-B414-9] ミストCVD法によるMoS₂の作製と膜特性3

〇(M1)小松 正彦¹、安岡 龍哉¹、丽 刘^1,2、川原村 敏幸^1,2 (1.高知工大シス工、2.高知工大総研)

キーワード：ミストCVD、MoS2、層状物質