[16a-D215-1~6] 16.2 Energy Harvesting

[16a-D215-1] A Study on Electrical Characteristics of Self-Assembled Electrets for MEMS Vibration Energy Harvesters

〇(M1)Reiki Sugimoto¹, Kosuke Kawashima¹, Ruichen Li¹, Hideyuki Kayaguchi², Keisuke Kurihara², Hisao Ishii², Yuya Tanaka³, Daisuke Yamane¹ (1.Ritsumeikan Univ., 2.Chiba Univ., 3.Gunma Univ.)

Keywords:Self-Assembled Electret, MEMS, Energy Harvesters

エレクトレット型MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）振動発電素子は、小型無線センサ端末の自立電源応用等に向けて研究開発されている。本研究では荷電処理が一切不要な自己組織化エレクトレット（SAE: Self-Assembled Electret）を用いたMEMS振動発電素子の精密設計を目指し、マイクロパターン化したSAEの表面電位を初めて測定したので報告する。