[16a-D215-1~6] 16.2 エナジーハーベスティング

[16a-D215-1] MEMS振動発電応用に向けた自己組織化エレクトレットの電気特性に関する検討

〇(M1)杉本 澪貴¹、川島 康介¹、李 睿宸¹、栢口 英之²、栗原 啓輔²、石井 久夫²、田中 有弥³、山根 大輔¹ (1.立命館大、2.千葉大、3.群馬大)

キーワード：自己組織化エレクトレット、MEMS、エナジーハーベスタ

エレクトレット型MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）振動発電素子は、小型無線センサ端末の自立電源応用等に向けて研究開発されている。本研究では荷電処理が一切不要な自己組織化エレクトレット（SAE: Self-Assembled Electret）を用いたMEMS振動発電素子の精密設計を目指し、マイクロパターン化したSAEの表面電位を初めて測定したので報告する。