[16a-D405-1~8] 6.6 Probe Microscopy

[16a-D405-6] Automated drift compensation system for nanoscale imaging via Feature Point Matching

〇(DC)ZHUO DIAO¹, Keiichi Ueda^1,2, Linfeng Hou¹, Hayato Yamashita¹, Oscar Custance³ (1.Osaka Univ., 2.Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Inst., 3.NIMS)

Keywords:probe microscopy automation, thermal drift

ナノスケールにおける超高精度かつ自動のリアルタイムドリフト補正の手法について発表する. 本手法は特徴点マッチングを基づく手法であり, 我々が考案したフィルタにより, イメージング中表面の吸着物の変化やコントラストの変化にもロバストである. 本手法は室温上, 72時間を超えてドリフト補正を行い続けて, 試料同じエリアに固定することに成功した.