[16a-D505-1~11] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16a-D505-11] 室温原子層堆積によるアルミニウムシリケートの紙繊維上形成

〇廣瀬 文彦¹、齋藤 尊¹、宮澤 諒¹、齋藤 健太郎¹ (1.山形大院理工)

キーワード：室温原子層堆積、アルミニウムシリケート、繊維

アルミニウムシリケートはアルミとシリコンの複合酸化物であり、ゼオライト鉱の主成分である。この材料は内部にⅣ価構造をとるアルミニウムが負に帯電し、NaやK、Csなどのカチオンを吸着する機能がある。我々は室温原子層堆積法によって、同薄膜を室温形成する技術を開発している。今回、柔軟かつ巨大表面積を持つキムワイプ紙の繊維表面に同薄膜を形成して、イオン吸着特性を持たせることに成功したので報告する。