[16a-D505-1~11] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16a-D505-3] 低屈折率深紫外透明含フッ素ポリシルセスキオキサン樹脂の無共溶媒合成

〇梶原 浩一¹、土屋 俊貴¹、福田 祐子¹、金村 聖志¹ (1.都立大)

キーワード：ポリシルセスキオキサン樹脂、低屈折率、深紫外透明