[16a-D511-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16a-D511-8] Al/Si_0.2Ge_0.8(111)構造の熱処理によるSiおよびGeの表面偏析

〇(M1)酒井 大希¹、松下 圭吾¹、大田 晃生¹、田岡 紀之¹、牧原 克典¹、山本 裕司²、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工、2.IHP)

キーワード：SiGe、偏析、XPS