[16a-D519-1~14] CS.1 Code-sharing Session of 2.3 & 7.4 &7.5

[16a-D519-10] Molecular weight dependence of organic polymer damage by Ar-GCIB sputtering

〇(B)Moeki Sugimoto¹, Toshio Seki², Jiro Matsuo² (1.Faculty of Engineering, Kyoto Univ., 2.Graduate School of Engineering, Kyoto Univ.)

Keywords:SIMS, cluster ion beam

Arガスクラスターイオンビーム（Ar-GCIB）スパッタリングによって有機高分子が受ける損傷の程度が、分子量に応じてどのように変化するのかを調べた。その結果、分子量1500 Da以上のポリエチレングリコール（PEG）ではスパッタリングによる損傷が起こっていることがわかった。