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△ [16a-D519-7] ガラス円筒面チャネルによりガイドされたAr6+イオンビームの運動エネルギー分布
キーワード:多価イオン、イオンビームガイド
低速多価イオンが絶縁体流路を衝突せずに進行するガイド効果の詳細を調べるため、独自に開発したガラス円筒面両凸チャネルと凹凸チャネルを作製し、15 keVのAr6+イオンビームを入射したときの出射粒子の価数と運動エネルギーを測定した。その結果、両凸チャネルでは入射ビーム軸に対し0~+3°のチルト角範囲で、多くの出射粒子が入射時の価数と運動エネルギーを保持し、さらに最大で-0.19°の偏向を確認した。