[16a-PA05-1~2] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[16a-PA05-1] F₂レーザーによる Al₂O₃薄膜の形成 (2)

〇(M1)奥園 聡史¹、吉田 剛¹、大越 昌幸¹ (1.防衛大電気電子)

キーワード：F2レーザー、Al薄膜、Al2O3薄膜