[16a-PA06-1~13] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

[16a-PA06-2] 透過型ミューラー行列顕微鏡による薄膜膜厚分布計測

〇(BC)長瀬 仁¹、北村 賢功¹、有元 圭介¹、近藤 英一¹、金 蓮花¹、ジェローズ ベルナール² (1.山梨大学、2.名古屋大学)

キーワード：ミューラー行列、エリプソメトリー計測、薄膜