[16a-PA06-1~13] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor (formerly 3.8)

[16a-PA06-4] The gas dependence of the absorption spectra of trace moisture

〇Koji Hashiguchi¹, Minami Amano¹, Agata Cygan², Daniel Lisak², Roman Ciurylo², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:trace moisture, spectral analysis, Cavity Ring Down Spectroscopy

産業のハイテク化に伴い、ガス中に微量に存在する水(微量水分)を精確に測定する需要が高まっている。本発表では、これまで開発してきたキャビティリングダウン分光法による微量水分測定装置を用いて微量水分標準ガス(窒素ガス、アルゴンガス)を測定し、吸収スペクトルのガス種依存性を検証した結果について報告する。圧力依存する分光パラメータのガス種依存性、吸収強度の周波数依存性、不確かさ評価などについて報告する。