[16a-PA06-1~13] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

[16a-PA06-4] 微量水分の吸収スペクトルのガス種依存性

〇橋口 幸治¹、天野 みなみ¹、Cygan Agata²、Lisak Daniel²、Ciuryło Roman²、阿部 恒¹ (1.産総研、2.ニコラス ・ コペルニクス大学)

キーワード：微量水分、スペクトル解析、キャビティリングダウン分光法

産業のハイテク化に伴い、ガス中に微量に存在する水(微量水分)を精確に測定する需要が高まっている。本発表では、これまで開発してきたキャビティリングダウン分光法による微量水分測定装置を用いて微量水分標準ガス(窒素ガス、アルゴンガス)を測定し、吸収スペクトルのガス種依存性を検証した結果について報告する。圧力依存する分光パラメータのガス種依存性、吸収強度の周波数依存性、不確かさ評価などについて報告する。