[16a-PB02-1~11] 9.5 新機能材料・新物性

[16a-PB02-10] 自己組織化を用いたZnOナノネット構造の形成と光応答特性のサイズ依存性

〇(M1)南山 幸汰¹、伊藤 健¹、新宮原 正三¹、清水 智弘¹ (1.関西大学)

キーワード：ナノ構造、UV 検出、半導体

自己組織化プロセスにより配列した単層コロイド結晶を鋳型としたナノネット構造は, 表面積が大きく簡易に作製できる周期的ナノ構造である. これまで我々は直径200nmのポリスチレン球を用いた単層コロイド結晶を鋳型として, ZnOナノネット構造を作製し、そのUV検出感度が薄膜と比較し向上することを明らかにした. 本研究ではさらなる検出感度の向上を目指し,サイズの異なるナノネット構造を作製し, 比較した.