[16a-PB02-1~11] 9.5 新機能材料・新物性

[16a-PB02-5] Pt薄膜トランジスタの量子輸送特性評価

〇富田 亮¹、木村 仁哉¹、吉住 年弘¹ (1.埼大院理工)

キーワード：薄膜、電界効果

膜厚や粒径が数nmから数十nm程度のPt薄膜やPtナノ粒子における量子サイズ効果と量子輸送特性が研究されている。また、Ptでは電子と正孔のキャリヤ濃度が漸近する。これまでに、我々はPt薄膜における電界効果の研究を行ってきた。本研究では、さらに実験を行い、10 nmよりも薄いPt薄膜の電界効果への応答特性を評価した。