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[16a-PB03-7] 全工程KOHフラックス法によるYBCO/LaNiO3積層膜の低温成膜
キーワード:REBCO、LaNiO3、KOH
中間層に用いる平坦かつ低抵抗なLaNiO3薄膜をKOHフラックス法によって成膜することを目的とし,非平衡度を制御した浸漬プロセスによる成膜を試みた.550ºCのKOH融液に原料投入してから0, 30, 60 min後に浸漬させて得られた試料は,XRD測定結果から,いずれの膜もLaNiO3 (h00)からの回折ピークが確認できた.また,投入までの時間が長くなるとともに表面平坦性が向上した.