[16a-PB05-1~5] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-PB05-4] 4探針プローブ法によるMg₂Si基板へのAl拡散深さの調査

〇尾嶋 海人¹、中村 陸斗¹、鵜殿 治彦¹ (1.茨城大学)

キーワード：4探針プローブ法