[16p-A201-1~9] Recent Progress of laser ablation

[16p-A201-5] Femtosecond GHz burst mode for high-efficiency laser ablation

〇Kotaro Obata¹, Francesc CABALLERO-LUCAS¹, Shota Kawabata^1,2, Godai Miyaji², Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of A. & T.)

Keywords:GHz burst mode, femtosecond laser, laser ablation

近年、フェムト秒レーザー加工のさらなる高品質化、高効率化に向け、GHzバーストモードでのフェムト秒レーザー加工が注目されている。本講演では、我々のGHzバーストモードフェムト秒レーザーを用いた高効率アブレーション加工についての研究成果を中心に、GHzバーストモードアブレーション加工の進展を解説する。また、GHzバーストモードをレーザー誘起表面周期構造(LIPSS)形成に応用した結果も紹介する。