[16p-A201-1~9] レーザーアブレーションの新展開

[16p-A201-5] GHzバーストモードフェムト秒レーザーによる高品質・高効率アブレーション加工

〇小幡 孝太郎¹、カバジェロ ルカス フランセスク¹、川端 祥太^1,2、宮地 悟代²、杉岡 幸次¹ (1.理研 光量子、2.東京農工大)

キーワード：GHzバーストモード、フェムト秒レーザー、レーザーアブレーション

近年、フェムト秒レーザー加工のさらなる高品質化、高効率化に向け、GHzバーストモードでのフェムト秒レーザー加工が注目されている。本講演では、我々のGHzバーストモードフェムト秒レーザーを用いた高効率アブレーション加工についての研究成果を中心に、GHzバーストモードアブレーション加工の進展を解説する。また、GHzバーストモードをレーザー誘起表面周期構造(LIPSS)形成に応用した結果も紹介する。