[16p-A201-1~9] レーザーアブレーションの新展開

[16p-A201-6] フェムト秒レーザーダブルパルスからシリコンへのエネルギー移行の波長依存性

〇具志堅 英雄¹、谷 水城²、石川 顕一² (1.東大工、2.東大院工)

キーワード：アブレーション、時間依存密度汎関数理論、シリコン

フェムト秒レーザーダブルパルスをシリコンに照射した際のエネルギー吸収量が波長の組合わせによりどう変わるかを明らかにすることを目的とし、オープンソース計算プログラムSALMONを用いて時間依存密度汎関数理論に基づく計算を行った。第1パルスによるエネルギー吸収は波長にあまり依存しなかったが、総エネルギー吸収は波長の組合わせにより大きく異なり、第1パルスが短波長、第2パルスが長波長の場合に大きくなった。