[16p-A201-1~9] レーザーアブレーションの新展開

[16p-A201-7] 強く集光したベクトルビームによるレーザーアブレーション

〇小澤 祐市¹、津留 志音¹、上杉 祐貴¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：ベクトルビーム、レーザーアブレーション、軸方向電場

講演では、放射状に偏光した径偏光ビームなどのベクトルビームを強く集光した場合に発現する特異な集光特性が、アブレーション加工にどのような寄与をもたらすかについて、我々の実験結果を中心に報告し、レーザー微細加工への応用可能性について議論したい。