[16p-A301-7~12] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[16p-A301-9] 高濃度Pイオン注入による金属/SiC非合金化界面におけるコンタクト抵抗低減

〇原 征大¹、金子 光顕¹、木本 恒暢¹ (1.京大院工)

キーワード：SiC、オーミック接触、コンタクト抵抗率