[16p-A302-1~8] Advanced Surface and Interface Technologies for Micro and Nanoscale Fabrication

[16p-A302-1] Integrated MEMS Technology Towards Energy-Autonomous Distributed Microrobots

〇Yohio Mita¹ (1.Univ. of Tokyo)

Keywords:MEMS

「感じる・考える・働きかける」機能をセンチメートル未満の小型筐体に集積し、分散協調作業によって高度な機能を実現する「自律分散マイクロシステム」を指向し、電源テザー線の無い状況で環境から電源を収集するエネルギー生成機構の研究を行なっている。ＳＯＩ基板上に直列PN接合を半導体プロセスで作製しておき、ポストプロセス加工で接合を分離することで、必要な電圧を直接生成する高圧太陽電池を中心に集積技術を紹介する。